বেকহফ পিএলসি এবং ডেকওয়েল আই/ও মডিউল ব্যবহার করে সিএমপি সরঞ্জামগুলির জন্য উন্নত নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা

পটভূমি:

রাসায়নিক-যান্ত্রিক সমতলীকরণ (সিএমপি) অর্ধপরিবাহী উত্পাদন একটি গুরুত্বপূর্ণ প্রক্রিয়া, রাসায়নিক-যান্ত্রিক গতিশীল কাপলিং নীতির উপর নির্ভর করে।এই প্রক্রিয়া কার্যকরভাবে ওয়েফার পৃষ্ঠ থেকে অতিরিক্ত উপকরণ অপসারণ করে এবং অতি উচ্চ সমতলতা সহ বিশ্বব্যাপী ন্যানোমিটার স্তরের সমতলতা অর্জন করে, যা 5nm এর চেয়ে কম পৃষ্ঠের বিচ্যুতি নিশ্চিত করে। সিএমপি প্রক্রিয়াটিতে দুটি প্রাথমিক পর্যায়ে রয়েছেঃ রাসায়নিক এবং শারীরিক। রাসায়নিক ক্ষয় এবং যান্ত্রিক গ্রাইন্ডিংয়ের সংমিশ্রণে,সিএমপি সরঞ্জাম অতিরিক্ত উপকরণ অপসারণ এবং অর্ধপরিবাহী উত্পাদন প্রয়োজনীয় বিশ্বব্যাপী planarization অর্জন জন্য অত্যাবশ্যক.

সিএমপি সরঞ্জামগুলি অর্ধপরিবাহী উত্পাদন, বিশেষত ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উত্পাদনে অন্যতম মূল প্রযুক্তি।এর প্রাথমিক কাজ হল ন্যানো-স্তরের গ্লোবাল ফ্ল্যাটিং অর্জন করা।, এটিকে পৃষ্ঠ উত্পাদনের জন্য অর্ধপরিবাহী শিল্পে সর্বাধিক ব্যবহৃত ডিভাইসগুলির মধ্যে একটি করে তোলে।

সমাধানঃ

প্রধান স্টেশন:বেকহফ পিএলসি
প্রযোজ্য প্রক্রিয়া পর্যায়ঃরাসায়নিক-মেকানিকাল পলিশিং (সিএমপি)
প্রকল্পের I/O কনফিগারেশনঃ8RS-EC2 + 916DI + 7*8DI8DO

এই সমাধানটিতে, বেকহফ পিএলসি একটি অত্যন্ত দক্ষ সিএমপি সরঞ্জাম নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা গঠনের জন্য ডেকওয়েল এর আই / ও মডিউলগুলির সাথে নির্বিঘ্নে সংহত হয়।এই সিস্টেম একাধিক ধরণের সেন্সর থেকে সংকেত গ্রহণ করতে পারে, ফটো ইলেকট্রিক এবং অবস্থান সেন্সর সহ, রিয়েল-টাইমে ওয়েফারের পারফরম্যান্সকে ক্রমাগত পর্যবেক্ষণ করতে। পিএলসি বিভিন্ন লোডগুলি সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে এই ডেটা ইনপুটগুলি ব্যবহার করে,যেমন বৈদ্যুতিক ড্রাইভ সিস্টেম এবং ওয়েফার কনভেয়র, সুনির্দিষ্ট পলিশিং অপারেশন সক্ষম।

প্রধান উপকারিতা:

• কমপ্যাক্ট ডিজাইন:এই সিস্টেমটি কমপ্যাক্ট এবং স্থান-নিরাপদ হওয়ার জন্য ডিজাইন করা হয়েছে, যা সীমিত স্থানের পরিবেশের জন্য উপযুক্ত।

• হাই-স্পিড রেসপন্সঃদ্রুত প্রতিক্রিয়া সময় সহ, সিস্টেমটি পলিশিং প্রক্রিয়ার সময় দ্রুত সমন্বয় পরিচালনা করতে পারে, উচ্চ উত্পাদন দক্ষতা নিশ্চিত করে।

• উৎপাদন দক্ষতা বৃদ্ধিঃএই সিস্টেমের সুনির্দিষ্ট নিয়ন্ত্রণ ওফার চলাচল এবং পলিশিং পরামিতিগুলির জন্য উন্নত থ্রুপুট এবং উচ্চতর সামগ্রিক উত্পাদন দক্ষতার দিকে পরিচালিত করে।

এই ইন্টিগ্রেটেড কন্ট্রোল সিস্টেম, Beckhoff PLC এবং Decowell I/O মডিউল একত্রিত, CMP সরঞ্জাম কর্মক্ষমতা অপ্টিমাইজ,অর্ধপরিবাহী নির্মাতারা তাদের ওয়েফারের সমতলীকরণ প্রক্রিয়ায় সর্বোচ্চ স্তরের নির্ভুলতা এবং দক্ষতা অর্জন করতে পারে তা নিশ্চিত করা.