প্রকল্পের পটভূমি

সিএমপি (রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং) সরঞ্জাম রাসায়নিক প্রতিক্রিয়া এবং যান্ত্রিক পলিশিংয়ের মধ্যে সমন্বয়ের উপর ভিত্তি করে কাজ করে। রাসায়নিক বিকারক এবং পলিশিং প্যাডের সম্মিলিত ক্রিয়াকলাপের মাধ্যমে, সিস্টেমটি ওয়েফার পৃষ্ঠ থেকে অতিরিক্ত উপাদান দক্ষতার সাথে সরিয়ে দেয় এবং ন্যানোমিটার স্তরে গ্লোবাল প্ল্যানারাইজেশন অর্জন করে (সমগ্র সমতলতার বিচ্যুতি <5 nm)।

সিএমপি পলিশিং রাসায়নিক প্রক্রিয়া এবং যান্ত্রিক উপাদান অপসারণকে একীভূত করে, যা সেমিকন্ডাক্টর ওয়েফার তৈরির সবচেয়ে গুরুত্বপূর্ণ পদক্ষেপগুলির মধ্যে একটি করে তোলে। এর প্রধান উদ্দেশ্য হল উচ্চ-নির্ভুল পৃষ্ঠের মসৃণতা, ত্রুটি অপসারণ এবং অভিন্নতা নিশ্চিত করা—যা ডাউনস্ট্রিম লিথোগ্রাফি এবং ডিভাইস তৈরির জন্য অপরিহার্য।

একটি মূল প্রযুক্তি হিসাবে যা ইন্টিগ্রেটেড সার্কিট উৎপাদনে ব্যাপকভাবে ব্যবহৃত হয়, সিএমপি অতি-সমতল ওয়েফার পৃষ্ঠ নিশ্চিত করে এবং ফলন, নির্ভরযোগ্যতা এবং দীর্ঘমেয়াদী ডিভাইসের কর্মক্ষমতাকে সরাসরি প্রভাবিত করে।

সমাধানের সংক্ষিপ্ত বিবরণ

প্রধান কন্ট্রোলার:বেকহফ পিএলসি
প্রযোজ্য প্রক্রিয়া:রাসায়নিক যান্ত্রিক পলিশিং (সিএমপি)
I/O কনফিগারেশন:
8RS-EC2 + 916DI + 7*8DIBDO

আমাদের সমাধান একটি বেকহফ পিএলসি ব্যবহার করে যা আমাদের কাস্টম-ডিজাইন করা IO মডিউলগুলির সাথে যুক্ত করে একটি উচ্চ-নির্ভুলতা, উচ্চ-নির্ভরযোগ্যতা সিএমপি সরঞ্জাম নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা তৈরি করে। এই নিয়ন্ত্রণ প্ল্যাটফর্মটি বিভিন্ন সেন্সর ইনপুট সমর্থন করে, যার মধ্যে রয়েছে:

• ফটোইলেকট্রিক সেন্সর

• চাপ সেন্সর

• অবস্থান সেন্সর

• ওয়েফার পৃষ্ঠের অবস্থা পর্যবেক্ষণ

পিএলসি রিয়েল-টাইম সেন্সর ডেটা প্রক্রিয়া করে মোটর ড্রাইভ, পলিশিং হেড কন্ট্রোল, স্লারি বিতরণ, ওয়েফার লোডিং/আনলোডিং প্রক্রিয়া এবং এন্ড-পয়েন্ট সনাক্তকরণের মতো মূল উপ-সিস্টেমগুলিকে সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করতে।

প্রকল্পের বর্ণনা

এই বুদ্ধিমান নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা সিএমপি প্রক্রিয়া চলাকালীন ওয়েফারের পৃষ্ঠের অবস্থা ক্রমাগত ট্র্যাক করে, যা পুরো ওয়েফার জুড়ে সঠিক উপাদান অপসারণ এবং অভিন্নতা নিশ্চিত করে। সেন্সর ফিডব্যাকের উপর ভিত্তি করে, পিএলসি সঠিক লোড নিয়ন্ত্রণ এবং গতি সমন্বয় করে, স্থিতিশীল পলিশিং চাপ, সামঞ্জস্যপূর্ণ স্লারি প্রবাহ এবং সর্বোত্তম যান্ত্রিক গতিবিদ্যা সক্ষম করে।

উন্নত অটোমেশন এর মাধ্যমে, সমাধানটি নিশ্চিত করে:

• স্থিতিশীল প্ল্যানারাইজেশন গুণমান

• প্রক্রিয়াগত পরিবর্তনের প্রতি সংবেদনশীল প্রতিক্রিয়া

• উচ্চতর ওয়েফার ফলন এবং অভিন্নতা

• হ্রাসকৃত ম্যানুয়াল হস্তক্ষেপ এবং রক্ষণাবেক্ষণ

নির্ভরযোগ্য ইথারক্যাট-ভিত্তিক আর্কিটেকচার মডিউলগুলির মধ্যে উচ্চ-গতির যোগাযোগ নিশ্চিত করে, যা সিস্টেমটিকে চাহিদাপূর্ণ সেমিকন্ডাক্টর উত্পাদন পরিবেশের জন্য আদর্শ করে তোলে।

অ্যাপ্লিকেশন সুবিধা

কমপ্যাক্ট আর্কিটেকচার, উচ্চ নির্ভুলতা, উত্পাদন দক্ষতা বৃদ্ধি

• হাই-স্পিড ইথারক্যাট যোগাযোগ রিয়েল-টাইম নিয়ন্ত্রণ নিশ্চিত করে

• নমনীয় IO আর্কিটেকচার একাধিক সিএমপি সরঞ্জামের প্রকারের সাথে মানানসই

• উন্নত পৃষ্ঠের অভিন্নতা এবং ত্রুটি হ্রাস

• বুদ্ধিমান, স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণের মাধ্যমে উন্নত উত্পাদনশীলতা

• 24/7 সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাবগুলির জন্য উপযুক্ত স্থিতিশীল দীর্ঘমেয়াদী অপারেশন

এই সমাধানটি সেমিকন্ডাক্টর প্রস্তুতকারকদের একটি নির্ভরযোগ্য এবং মাপযোগ্য সিএমপি প্রক্রিয়া নিয়ন্ত্রণ প্ল্যাটফর্ম সরবরাহ করে, যা সামগ্রিক ফলন উন্নত করতে এবং ওয়েফার পলিশিং কার্যক্রমকে সুসংহত করতে সহায়তা করে।